Die Division Optics entwickelt, produziert und vertreibt Produkte aus synthetischem und natürlichem Quarzglas für Hochtechnologie-Anwendungen im Bereich der Photonik. Synthetisches und natürliches Quarzglas von Heraeus, hergestellt nach unterschiedlichen, auf die optische Anwendung hin maßgeschneiderten Herstellprozessen, erfüllt die höchsten Anforderungen unserer Kunden.
Herausragende optische Homogenität für die Mikrolithographie, hohe Beständigkeit gegenüber ionisierender Strahlung, besonders große Geometrien oder lange Lebensdauern bei Weltraumanwendungen sind Beispiele für solche Anforderungen. So beliefert Heraeus Quarzglas z.B. schon seit 1989 die Carl Zeiss SMT AG, den weltweit führenden Anbieter von Lithographieoptiken für die Halbleiterherstellung, mit hochwertigen Quarzglasscheiben.
Diese kommen in der Mikrolithografie in den Optiken der Excimer-Laser Stepper für die industrielle Chipfertigung zum Einsatz.
Suprasil 3…für Breitbandige Applikation vom tiefen UV bis ins nahe Infrarot, und höchste Homogenitätsanforderungen
Suprasil 1, ArF, KrF, 2 A und B, und Spectrosilfür Prismen, Linsen und optische Komponenten für den Einsatz im Tiefen Ultraviolett und sichtbaren Bereich, Laserapplikationen, Weltraum, Fluoreszenzfrei.
Infrasil & HOQ 310 für optische Komponenten für den Einsatz im Infrarotbereich
